La spectroscopie des rayons X rassemble plusieurs techniques de caractérisation spectroscopique de matériaux par excitation par rayons X. Trois familles de techniques sont le plus souvent utilisées.
Spectroscopie électromagnétique
Selon les phénomènes mis en jeu, on distingue trois classes :
L'analyse se fait par l'une des deux méthodes suivantes :
- analyse dispersive en énergie (Energy-dispersive x-ray analysis (EDXA) en anglais) ;
- analyse dispersive en longueur d'onde (Wavelength dispersive x-ray analysis (WDXA) en anglais).
Spectroscopie photoélectronique
La spectroscopie photoélectronique utilisant les rayons X comme source d’excitation est la spectrométrie photoélectronique X ou spectroscopie des rayons X de photoélectrons (X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) en anglais) aussi connue sous le nom de spectroscopie d'électrons pour l'analyse chimique (ESCA).
Spectroscopie électronique Auger
La spectroscopie électronique Auger (en) (AES) utilisant les rayons X comme source d’excitation est la spectroscopie électronique Auger induite par rayons X (X-ray induced Auger electron spectroscopy (XAES) en anglais).
Liens externes
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